Различные процессы, задействованные в производстве кремния

Какие различные процессы используются при производстве кремния?

Рост слитка

Производство кремния начинается с выращивания слитка. Этот процесс может занять от одной недели до месяца, в зависимости от размера, спецификации и качества пластины. Для выращивания слитка можно использовать два метода: метод FZ и метод CZ . Кремний высокой чистоты помещается в кварцевый контейнер вместе с небольшими количествами легирующих добавок для достижения желаемых свойств выращенного слитка.

Нарезка

После того, как слиток вырос, его разрезают сразу на множество частей с помощью канатной пилы.

Скашивание

После нарезки слитка на пластины края пластины затем шлифуются с помощью алмазного инструмента для достижения уникальных требований к форме кромок и размеров каждого клиента .

Притирка

После шлифовки кромок вафли проходят притирку. Этот процесс включает размещение пластин в держателе, который вращается между двумя вращающимися плитами для притирки. Этот процесс направлен на устранение любых повреждений на поверхности пластины и достижение желаемой толщины.

Травление

Травление помогает удалить любые повреждения на поверхности пластин, возникшие в результате предыдущей резки и притирки.

Термическая обработка для устранения донора

Термическая обработка для устранения доноров избавляет от нестабильных термических доноров, что помогает вернуть заданное удельное сопротивление пластины.

Полировка

Чтобы поверхность была зеркальной и гладкой, пластины необходимо отполировать. Полировка также помогает тонким пластинам и избавляет от повреждений на поверхности.

Уборка

После прохождения всех этих этапов пластины подвергаются физической и химической очистке.

Инспекции

После очистки вафли проходят осмотр, чтобы гарантировать их высокое качество, равномерную плоскую поверхность и отсутствие дефектов.

Ищете производство кремния?

Приобретайте качественные вафли. Мы — компания по производству кремния, которая предлагает пластины высшего качества по разумной цене